橡膠空氣彈簧隔振設(shè)計及性能分析
壓印光刻機(jī)是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵對壓印光刻機(jī)的影響很大。橡膠空氣彈簧是一種減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環(huán)境對壓印光刻機(jī)的干擾,能保護(hù)壓印光刻機(jī)免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機(jī)低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結(jié)果與實際隔振系統(tǒng)的試驗結(jié)果相吻合,表明壓印光刻機(jī)的低頻隔振設(shè)計是合理可行的。